犜犈犃犆犗2激光器序列带的输出特性-强激光与粒子束.PDF

第 卷 第 期 强 激 光 与 粒 子 束 ， ２０ ２ Ｖｏｌ．２０Ｎｏ．２ 　 　 　 年 月 ， ２００８ ２ ＨＩＧＨ ＰＯＷＥＲＬＡＳＥＲＡＮＤＰＡＲＴＩＣＬＥＢＥＡＭＳ Ｆｅｂ．２００８ 　 　 文章编号： （ ） １００１４３２２２００８０２０３２３０４ 　 犜犈犃犆犗２激光器序列带的输出特性 １ ２ ２ ２ ２ ２ ２ ２ 廖均梅 ， 李育德 ， 钟 耿 ， 封 涛 ， 李忠华 ， 刘效勇 ， 冉瑞江 ， 陈 梅 　 　 　 　 　 　 　 　 　 　 （ 四川大学 锦江学院 电子信息工程系，四川 彭山 ； 四川大学 光电科学技术系，成都 ） １． ６２０８６０ ２． ６１００６４ 摘 要： 采用双光栅谐振腔和增长放电增益区，进行了ＴＥＡＣＯ 激光器弱线输出特性研究。在 ＣＯ ， 　　 　 　 ２ ２ ， 气体体积比为 ，总压强为 情况下，获得 条 波长附近弱线（序列带 Ｎ Ｈｅ ０．１６∶０．２１∶０．６３ ５７．３ｋＰａ ６ １１ ｍ ２ μ 和热带）激光输出，谱线脉宽为４００ｎｓ左右。研究了０１１０３０带的Ｐ１９线的输出波形和能量，结果表明：谱线输 出能量随光栅中心的位移变化而变化，当光栅中心在放电区中心轴线上时输出最强，最大输出能量达几百 。 ｍＪ 关键词： ＴＥＡＣＯ 激光器； 序列带； 热带； 弱线； 输出特性 　　 　 　 　 　 　 ２ 中图分类号： ＴＮ２８４．２ 文献标识码： Ａ 　　 　 　　　　 　 ［］ １ 激光等离子体淀积硅膜在半导体工业得到广泛应用 ，在这种技术中， 通常被用作各种硅膜生长的 ＳｉＨ 　　 ４ 高纯硅源，采用的激光源通常是 激光器的 （ ）线输出，频率为 －１，波长为 ， ＴＥＡＣＯ２ １０Ｐ２０ ９４４