GB/T 35306-2023硅单晶中碳、氧含量的测定 低温傅立叶变换红外光谱法.pdf
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ICS77.040
CCSH 17
中华人 民共和 国国家标准
/ —
GBT35306 2023
代替 / —
GBT35306 2017
、
硅单晶中碳 氧含量的测定
低温傅立叶变换红外光谱法
Determinationofcarbonandox encontentinsinlecrstalsilicon—
yg g y
Lowtem eraturefouriertransforminfraredsectrometrmethod
p p y
2023-08-06发布 2024-03-01实施
国家市场监督管理总局
发 布
国家标准化管理委员会
/ —
GBT35306 2023
前 言
/ — 《 : 》
本文件按照 标准化工作导则 第 部分 标准化文件的结构和起草规则 的规定
GBT1.1 2020 1
起草。
/ — 《 、 》,
本文件代替 硅单晶中碳 氧含量的测定 低温傅立叶变换红外光谱法 与
GBT35306 2017
/ — , , :
GBT35306 2017相比 除结构调整和编辑性改动外 主要技术变化如下
) ( , );
更改了适用范围 见第 章 年版的第 章
a 1 2017 1
) ( , );
更改了方法原理 见第 章 年版的第 章
b 4 2017 4
) ( , );
更改了干扰因素 见第 章 年版的第 章
c 5 2017 5
) ( ,
显示全部