GB/T 35306-2017硅单晶中碳、氧含量的测定　低温傅立叶变换红外光谱法.pdf

ICS77.040 H 17 中华人 民共和 国国家标准 / — GBT35306 2017 、 硅单晶中碳 氧含量的测定 低温傅立叶变换红外光谱法 Testmethodforcarbonandox encontentofsinlecrstalsilicon— yg g y Lowtem eraturefouriertransforminfraredsectrometr p p y 2017-12-29发布 2018-07-01实施 中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局 发 布 中 国 国 家 标 准 化 管 理 委 员 会 / — GBT35306 2017 前 言 本标准按照 / — 给出的规则起草。 GBT1.1 2009 本标准由全国半导体设备和材料标准化技术委员会( / )与全国半导体设备和材料标准 SACTC203 化技术委员会材料分技术委员会( / / )共同提出并归口。 SACTC203SC2 : 、 、 本标准起草单位 昆明冶研新材料股份有限公司 江苏中能硅业科技发展有限公司 宜昌南玻硅材 、 、 ( ) 、 料有限公司 新特能源股份有限公司 亚洲硅业 青海 有限公司 青海黄河上游水电开发有限责任公司 、 。 新能源分公司 陕西天宏硅材料有限责任公司 : 、 、 、 、 、 、 、 、 、 、 本标准主要起草人 张云晖 韩小月 毛智慧 赵建为 刘晓霞 王桃霞 田洪先 刘明军 银波 刘国霞 、 、 、 、 。 蔡延国 秦榕 童孟 钱津旺 杨红燕 Ⅰ / — GBT35306 2017 、 硅单晶中碳 氧含量的测定