半导体设备行业系列报告之九：自主可控向上游深化，半导体零部件有望复刻设备成长.pdf
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目录
1．半导体零部件受益国产化浪潮，国内市场空间广阔7
1.1半导体零部件处于芯片产业链上游，自主可控需求日益急迫7
1.2半导体零部件跟随下游设备扩张市场，全球竞争格局相对分散..10
2．零部件种类详解：各环节均有高技术壁垒关键零部件13
2.1机械类：价值量超20%且种类繁多13
2.2电气类：技术难度高，对刻蚀、沉积设备至关重要16
2.3机电一体类：温控、EFEM等对设备进行辅助的模块及子系统..18
2.4气体/液体/真空系统类：重点关注管阀、GasBox产品20
3．重点个股：各类零部件均涌现核心标的21
3.1江丰电子：第二成长曲线零部件业务快速成长21
3.2珂玛科技：陶瓷零部件技术突破难度较高核心产品23
3.3先锋精科：金属零部件具备优势，最大客户中微公司25
3.4富创精密：半导体零部件业绩规模及产品布局国内领先27
3.5新莱应材：真空管阀有望加速国产替代28
3.6正帆科技：气体供应系统及GasBox快速增长29
3.7英杰电气：国内射频电源研发布局相对领先32
4．风险提示34
第3页共35页简单金融成就梦想
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图表目录
图1：半导体零部件位于半导体设备上游7
图2：前道设备中刻蚀、薄膜沉积价值量占比合计超40%10
图3：半导体设备各工艺环节具有广阔市场空间10
图4：近10年来刻蚀、化学薄膜沉积设备全球市场规模增长最快11
图5：国内主流半导体设备公司直接材料成本占营业成本比例平均约90%11
图6：2023年全球设备厂商采购的半导体零部件市场规模约340亿美元12
图7：2022年全球半导体零部件竞争格局相对分散12
图8：Showerhead在CVD设备中为最核心零部件之一14
图9：硅电极及硅环为半导体刻蚀设备核心零部件14
图10：典型半导体CVD设备的先进陶瓷使用情况15
图11：典型半导体刻蚀设备的先进陶瓷使用情况15
图12：射频电源原理示意16
图13：射频电源主要结构17
图14：射频电源是PECVD中关键零部件之一17
图15：CCP刻蚀射频电源应用示意17
图16：ICP刻蚀射频电源应用示意17
图17：EFEM用于晶圆进出半导体设备18
图18：EFEM由装载装置、对准装置、机械手等模块组成18
图19：机械手用于机械搬运，是EFEM核心部件18
图20：水冷式温控器原理示意19
图21：球阀可用于控制气体/液体压力及流量20
图22：传输阀连接真空泵及反应腔20
图23：角阀多用于隔离不同腔室20
图24：闸阀通过闸板启闭控制传输介质20
图25：GasBox在半导体设备外对工艺气体进行整体分配与输运21
图26：江丰电子营收结构以靶材业务为主，半导体零部件业务快速增长22
图27：江丰电子1H24半导体零部件业务营收占比24%22
第4页共35页简单金融成就梦想
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图28：江丰电子近年来毛利率维持约30%，归母净利润率约10%22
图29：江丰电子9M24归母净利润2.9亿，同比增49%22
图30：珂玛科技主业为陶瓷零部件24
图31：2023年珂玛科技陶瓷材料零部件中泛半导体营收占比66%24
图32：珂玛科技9M24归母净利润高增295%25
图33：珂玛科技2024年以来盈利能力大幅提升25
图34：先锋精科产品结构以机械类工艺部件为主25
图35：关键工艺部件中腔体、内衬占