YS/T 1024-2015溅射用钽靶材.pdf

ICS77.150.99 H 63 中华人民共和国有色金属行业标准 / — YST1024 2015 溅射用钽靶材 Tantalumsutterin tarets p g g ㅤㅤㅤㅤ 2015-04-30发布 2015-10-01实施 中华人民共和国工业和信息化部 发 布 / — YST1024 2015 溅射用钽靶材 1 范围 、 、 、 、 、 、 本标准规定了用以制备薄膜的溅射用钽靶材的要求 试验方法 检验规则及标志 包装 运输 贮存 ( ) 。 质量证明书和订货单 或合同 内容 , 、 、 、 本标准适用于以真空电子束熔炼的高纯钽锭为原料 通过塑性加工 热处理 机械加工 焊接等方法 ( )。 制造的溅射用钽靶材 以下简称钽靶材 2 规范性引用文件 。 , 下列文件对于本文件的应用是必不可少的 凡是注日期的引用文件 仅注日期的版本适用于本文 。 , ( ) 。 件 凡是不注日期的引用文件 其最新版本 包括所有的修改单 适用于本文件 / 一般公差 未注公差的线性和角度尺寸的公差 GBT1804 / : 金属材料 维氏硬度试验 第 部分 试验方法 GBT4340.1 1 / 金属平均晶粒度测定方法 GBT6394 / 金属板材超声板波探伤方法 ㅤㅤㅤㅤ GBT8651 / 钽铌化学分析方法 碳量和硫量的测定 GBT15076.8 / 钽铌化学分析方法 钽中氮量的测定 GBT15076.13 / 钽铌化学分析方法 氧量的测定 GBT15076.14 / 钽铌化学分析方法 氢量的测定 GBT15076.15 / — 无损检测 目视检测 总则 GBT20967 2007 / 溅射靶材 背板结合质量超声波检验方