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2023年多晶硅磁控溅射靶材项目建设方案.docx

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多晶硅磁控溅射靶材项目建设方案

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多晶硅磁控溅射靶材项目建设方案

TOC\h\z26078前言 3

26533一、项目监理与质量保证 3

9133(一)、监理体系构建 3

14441(二)、质量保证体系实施 4

14568(三)、监理与质量控制流程 4

28613二、多晶硅磁控溅射靶材项目概论 5

1234(一)、项目申报单位概况 5

12459(二)、项目概况 6

25681三、经济影响分析 9

31554(一)、经济费用效益或费用效果分析 9

23159(二)、行业影响分析 11

25520(三

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