《《金刚石薄膜的快速沉积及成膜研究》》.pdf

化学气相沉积金刚石薄膜及其应用进展.doc 化学气相沉积金刚石应用进展化学气相淀积是近几十年发展起来的制备无机材料的新技术。化学气相淀积法已经广泛用于提纯物质、研制新晶体、淀积各种单晶、多晶或玻璃态无机薄膜材料。化学气相淀积图1 热灯丝CVD装置示意图 1.2 微波等离子体CVD法(MWPCVD) 石英管为反应室；反应气源为甲烷和氢气，从反应室的顶部输入；用于沉积的衬底置于衬底座上，频率为2.45×109Hz的微波在反应室的中部有波导馈入，形成辉光放电区，在衬底上沉积金刚石薄膜。微波PCVD法生长速率慢，但可制备高品质金刚石薄膜，适合于金刚石膜的外延生长和掺杂等。图2 微波CVD装置示意图 2 金刚石薄膜的应用正是由于金刚石

2016-12-08 约字 5页立即下载

金刚石薄膜的研究进展.pdf 第 3 1 卷　第 6 期太　原　理　工　大　学　学　报 3 1　 6 V o l N o 2000 年 11 月 JOU RN AL O F TA IYU AN U N IV ER S IT Y O F T ECHN OLO GY N ov. 2000 　　文章编号:(2000) 0606 1204

2015-09-23 约2.03万字 4页立即下载

类金刚石薄膜沉积、微结构及力学性能分子动力学模拟研究的中期报告.docx 类金刚石薄膜沉积、微结构及力学性能分子动力学模拟研究的中期报告本研究旨在通过分子动力学模拟，研究类金刚石（DLC）薄膜沉积过程中的微结构和力学性能。本中期报告将介绍前期已完成的工作和后续的研究计划。一、前期工作 1. 建立DLC模型通过使用Materials Studio软件建立了类金刚石（DLC）模型，包含碳原子和氢原子。采用COMPASS力场作为分子动力学模拟力场。 2. 模拟沉积过程以衬底上的模型原子为种子，模拟DLC薄膜的沉积过程。通过改变沉积速度和沉积温度等条件，研究DLC沉积过程中的微观结构和性质。 3. 分析微结构通过分析DLC薄膜的密度、晶体结构和缺陷等因素，研究了D

2023-10-30 约小于1千字 2页立即下载

2024-06-13 约3.16千字 29页立即下载

金刚石复合薄膜的制备研究的开题报告.docx ZnO/金刚石复合薄膜的制备研究的开题报告一、选题背景和意义随着微电子和光电子技术的不断发展，各种新材料逐渐被开发出来并应用到各个领域中，其中复合薄膜作为一种新型的材料，具有许多优良的性能，比如高硬度、高耐腐蚀性、高热稳定性等。因此，复合薄膜得到越来越广泛的应用，如在电子器件、机械、航空等领域中。锌氧化物（ZnO）是一种重要的半导体材料，在发光器件、光伏电池、气敏元件等方面有广泛的应用。但是，ZnO的硬度和耐腐蚀性较差，难以满足某些特殊应用的要求。而金刚石作为一种具有高硬度和耐腐蚀性的材料，能够大幅提高ZnO的性能，因此，ZnO/金刚石复合薄膜的研究具有重要意义。本研究旨在研究ZnO/

2023-12-02 约小于1千字 2页立即下载

星形MPCVD装置上制备类金刚石薄膜及研究.ppt 本文观看结束！！！湖北省等离子体化学与新材料重点实验室星形MPCVD装置上制备类金刚石薄膜的研究 报告人：熊礼威第十三届全国等离子体科学技术会议四川成都 2007年8月湖北省等离子体化学与新材料重点实验室武汉工程大学等离子体化学与新材料重点实验室报告主要内容研究背景星形微波等离子体装置介绍类金刚石薄膜的沉积研究 结论后期工作计划湖北省等离子体化学与新材料重点实验室研究背景类金刚石薄膜（DLC）具有一系列接近于金刚石薄膜的优异性能，如很高的硬度、很小的摩擦系数、良好的化学稳定性、较高的电阻率、优异的红外和微波频段的透过性和高的光学折射

2016-09-14 约3.11千字 21页立即下载

C_C多层类金刚石薄膜的热稳定性研究.pdf 第28卷第 6 期真空科学与技术学报 2008 年 11、12 月 CHINESE JOURNAL OF VACUUM SCIENCE AND TECHNOLOGY

2015-09-23 约1.32万字 4页立即下载

2025年中国金刚石薄膜市场调查研究报告.docx 2025年中国金刚石薄膜市场调查研究报告目录 TOC\o1-3\h\z\u一、中国金刚石薄膜市场现状 3 1.市场规模与增长趋势 3 年市场规模 3 预测至2025年的年复合增长率（CAGR） 4 二、市场竞争格局 6 1.主要竞争者分析 6 市场份额 6 产品差异化策略 7 三、技术发展与创新 8 1.当前技术水平 8 金刚石薄膜生产方法比较 8 关键技术难题及突破点 9 四、市场细分与应用领域 11 1.电子行业应用 11 半导体材料替代方案 11 微电子器件性能优化 12

2025-04-25 约1.69万字 24页立即下载

热丝化学气相沉积(HFCVD)制备金刚石薄膜[精选].doc 热丝化学气相沉积（HFCVD）制备金刚石薄膜 摘要：本文简要阐述了热丝CVD制备金刚石薄膜的技术原理，探讨了影响金刚石薄膜生长的主要因素，并简要介绍了几种CVD制备金刚石薄膜的方法。关键词：金刚石薄膜 热丝CVD 化学气相沉积法 1. 引言上世纪80年代初，欧美日等发达国家掀起了化学气相沉积合成金刚石膜新材料的研究，到90年代，从理论上基本上摸清了化学气相沉积金刚石膜的生长机制，进入21世纪，无论从沉积技术，加工技术还是应用方面都取得了极大的进展。这期间，人们开发了热丝CVD法，直流等离子CVD法，射频等离子CVD法，微波等离子CVD法，直流电弧等离子CVD法，火焰燃烧CVD法，甚至激光C

2017-01-23 约3.48千字 5页立即下载

一种在WC-Co硬质合金表面沉积金刚石薄膜的方法.pdf (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 112813410 A (43)申请公布日 2021.05.18 (21)申请号 202011581105.2 (22)申请日 2020.12.28 (71)申请人武汉

2023-06-02 约9.02千字 8页立即下载

一种自持金刚石厚膜衬底上低温沉积Ga2O3薄膜的制备方法.pdf (19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 114790541 A (43)申请公布日 2022.07.26 (21)申请号 202210222901.X (22)申请日 2022.03.09 (71)申请人沈阳工程学院地址 11

2023-05-14 约1.21万字 9页立即下载

HFCVD法制备金刚石薄膜汇编.ppt * HFCVD法制备金刚石薄膜 胡衎苏峰王智文胡巍巍王仲涛张彧周傲鞠江伟内容 金刚石薄膜简介 HFCVD法制备金刚石薄膜 结构及性能分析小结 * 简介 金刚石薄膜的许多优异性能是其它材料所无法比拟的，它具有天然金刚石般的硬度和弹性模量，极高的热导率，非常好的化学稳定性，以及优越的光学特性，在很宽的光波范围内透明，并具有很高的折射率，另外它的禁带宽度高，介电常数非常低。这些优良的特性使它被广泛用于工具涂层、半导体制造及光学窗口等领域。 * * 金刚石薄膜的合成方法碳的平衡相图 * 各种化学气相沉积方法的比较 * * 优点反应过程 * 反应气体过饱和的活性

2016-09-20 约4.67千字 16页立即下载

金刚石薄膜的性质_制备及应用.pdf 17 1 　　　　 Vol.17 　No.1 　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　 2002 3 NEW CARBON MATERIALS Mar.2002 :　1007-8827 (2002)01-0062-09

2015-08-15 约2.6万字 9页立即下载

类金刚石薄膜材料的应用.docx PAGE1 第一章绪论 1.1引言碳元素是一种常见的元素，在碳原子之间可以形成多种混合类型，类金刚石（DLC）是其非晶型结构中的一种结构。在众多类型的碳材料，类金刚石薄膜已经吸引来自世界各地的专家学者的关注和研究，由于其出色的性能，并取得了一定的成绩。类金刚石薄膜中含有大量sp3键，是一种亚稳态的非晶碳或碳氢薄膜。由于DLC薄膜有良好的物理性能和化学性能，使其在诸多领域有着极为广泛的应用。若能将DLC薄膜广泛应用于医用领域的替代材料，将会给社会带来巨大的福音。 1.2类金刚石薄膜材料 1.2.1类金刚石薄膜材料的结构类金刚石薄膜是一种含大量sp3键的亚稳态的非晶碳或碳氢薄

2024-12-07 约1.07万字 20页立即下载

HFCVD法制备金刚石薄膜详解.ppt * HFCVD法制备金刚石薄膜 胡衎苏峰王智文胡巍巍王仲涛张彧周傲鞠江伟内容 金刚石薄膜简介 HFCVD法制备金刚石薄膜 结构及性能分析小结 * 简介 金刚石薄膜的许多优异性能是其它材料所无法比拟的，它具有天然金刚石般的硬度和弹性模量，极高的热导率，非常好的化学稳定性，以及优越的光学特性，在很宽的光波范围内透明，并具有很高的折射率，另外它的禁带宽度高，介电常数非常低。这些优良的特性使它被广泛用于工具涂层、半导体制造及光学窗口等领域。 * * 金刚石薄膜的合成方法碳的平衡相图 * 各种化学气相沉积方法的比较 * * 优点反应过程 * 反应气体过饱和的活性

2016-09-17 约4.67千字 16页立即下载