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金刚石薄膜的性质_制备及应用.pdf

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17 1      Vol.17  No.1                               2002 3 NEW CARBON MATERIALS Mar.2002 : 1007-8827 (2002)01-0062-09 、 1,2 1 1,2 1 满卫东 ,  汪建华 ,  王传新 ,  马志斌 (1. ,  430073; 2. ,  230031)  : , 。 、, , 、。 , 。 :MWCVD 、、; 、。 : ; : TQ 163    : A 1     、、 ,   700 , , “ 。1796 , S .Tennant CO , 2 ”Diamond “Adamas”, 。 “”。, , , : ——— , , 。, , , , ; , , ( 1), [ 1] 。1 。 , 。2 [2] 。 1  Table 1 Some of the outstanding properties of diamond 2   E treme mechanical hardness (ca.90 Gpa)and wear resistance Table 2 Some thermodynamic properties of Highest bulk modulus (1.2×1012 N ·m-2 ) -13 2 -1 graphite and diamond Lowest compressibility (8.3×10 m ·N ) Highest room temperature thermal conductivity Diamond Graphite 3 -1 -1 1.900 0.000 (2×10 W ·(m·K) ) ΔH°/kJ·mol -1 Very low thermal e pansion coefficient at room temperature S°/J·(mol ·K) 2.440 5.690 (
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