Ti布拉格反射层的固态微型谐振器与滤波器的研究的开题报告.docx

基于Mo/Ti布拉格反射层的固态微型谐振器与滤波器的研究的开题报告

开题报告

一、研究背景及意义

微型谐振器在通信、导航、传感等领域中具有极其广泛的应用，其性能直接影响到系统的信号传输质量以及整个系统的性能。而滤波器是一种将特定频率的信号从混合信号中分离出来的装置，在许多应用领域中被广泛应用。基于Mo/Ti布拉格反射层的固态微型谐振器与滤波器具有工作稳定、体积小、损耗低的优点，广泛应用于微波、光纤和单片集成电路中。

二、研究内容

本研究将从以下几个方面进行探究：

1.Mo/Ti布拉格反射层的制备和表征。

2.基于Mo/Ti布拉格反射层的微型谐振器的设计、制备和性能测试。

3.基于Mo/Ti布拉格反射层的微型滤波器的设计、制备和性能测试。

4.以上研究内容的实验验证和结果分析。

三、研究方法及技术路线

1.利用光学薄膜制备技术，制备Mo/Ti布拉格反射膜。

2.利用微细加工技术，制备Mo/Ti布拉格反射层的微型谐振器和滤波器。

3.利用光谱仪和光学显微镜等设备对制备后的Mo/Ti布拉格反射层和微型器件进行表征和性能测试。

4.结合Matlab和COMSOL多物理场仿真软件，对实验结果进行分析和理论计算。

四、预期成果及意义

本研究的主要预期成果包括：

1.制备成功的Mo/Ti布拉格反射层。

2.制备成功的微型谐振器和滤波器。

3.微型谐振器和滤波器的性能评价和分析。

4.可应用于实际系统的固态微型谐振器和滤波器。

本研究可对固态微型谐振器和滤波器的发展和应用提供新思路和新途径，具有很高的研究价值和应用价值。