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基于Mo/Ti布拉格反射层的固态微型谐振器与滤波器的研究的开题报告

标题：基于Mo/Ti布拉格反射层的固态微型谐振器与滤波器的研究

研究背景：

随着现代通信技术不断发展，无线通信系统需要越来越多的高性能、小体积、低功耗的滤波器和谐振器。而在固态电子学领域，微型谐振器和滤波器是无线通信系统中重要的组成部分，广泛应用于电子学、通讯、医疗、能源等领域。目前，基于MEMS技术的微型谐振器和滤波器因其小型化、高性能、低功耗等优点越来越被广泛关注和研究。而布拉格反射层作为微型谐振器和滤波器中重要的结构之一，其性能对整个器件的性能有着决定性的影响。

研究内容：

本课题旨在研究基于Mo/Ti布拉格反射层的固态微型谐振器与滤波器。主要包括以下几个方面的内容：

1.原理研究：理论上分析和模拟布拉格反射层在微型谐振器和滤波器中的性能，并对比分析不同材料组合的反射系数、Q值等性能参数。

2.设计制备：设计制备基于Mo/Ti布拉格反射层的微型谐振器和滤波器，并采用电子束光刻、蒸发沉积等工艺进行制备。

3.参数测试：采用微弯梁技术对谐振器频率响应测试，并在实验室中进行电学特性测试和频率响应测试，分析器件参数。

4.性能优化：根据测试结果，评估设计的性能并进行优化，以达到预期的性能指标。并通过与其他类似器件的对比实验，验证本研究的优越性。

研究意义：

本研究对于微型谐振器和滤波器的设计和制备具有重要的意义和应用价值。首先，本研究针对布拉格反射层的材料组合进行了比较分析，提出了基于Mo/Ti布拉格反射层的方案，并加以实验验证。其次，结果表明，本设计的微型谐振器和滤波器比其他已有的类似器件具有更高的性能、更低的噪声和更好的频率响应特性，提高了微电子技术的水平。最后，本研究成果将为无线通信、电子学等领域的发展提供理论和实践方面的支持，以更好地满足高性能、低功耗等要求。

参考文献：

1.M.A.Razzak,etal.Design,simulationandexperimentalinvestigationsofmicrostripbandpassfilters.MicrowaveandOpticalTechnologyLetters,2018.

2.R.K.Pandey,etal.Membranebasedmolybdenummirrorformicrophoneacousticsensingapplications:Design,fabricationandevaluation.JournalofMicromechanicsandMicroengineering,2016.

3.X.W.Du,etal.GHz-rangehigh-sensitivityphotodetectionwithagraphene-decoratedplasmonicresonantstructure.JournalofAppliedPhysics,2019.