非晶铟锌氧化物薄膜晶体管的研究的中期报告.docx

非晶铟锌氧化物薄膜晶体管的研究的中期报告 非晶铟锌氧化物薄膜晶体管是一种新型的场效应晶体管，具有高电子迁移率、低工作电压和良好的稳定性等特点，因此在液晶显示器、有机太阳能电池、电子书等领域得到了广泛的应用。 本研究的中期报告主要介绍了以下工作： 1. 采用射频磁控溅射技术在玻璃基板上制备了非晶铟锌氧化物薄膜。通过X射线衍射和透射电子显微镜等手段对薄膜的结构和形貌进行了表征，结果显示薄膜具有非晶结构和致密均匀的表面形貌。 2. 利用光刻和金属电子束蒸发技术制备了非晶铟锌氧化物薄膜晶体管的金属控制电极和源漏极，并采用激光刻蚀技术制备了薄膜晶体管的通道层。 3. 测量了非晶铟锌氧化物薄膜晶体管的电学性能。结果显示该器件具有较高的电子迁移率和良好的开关特性，而且在室温下工作电压较低，表现出了很好的低功耗特性。 4. 对非晶铟锌氧化物薄膜晶体管的稳定性进行了测试。结果表明该器件在高湿和高温环境下具有良好的稳定性和可靠性，表明该器件具有良好的应用前景。 综合以上工作，本研究建立了一种高性能、低功耗、稳定可靠的非晶铟锌氧化物薄膜晶体管制备工艺，并且对其电学性能和稳定性进行了详细的研究和分析，为其在新型光电器件领域的应用奠定了基础。