氧化锌基薄膜晶体管的制备和特性研究的中期报告.docx

氧化锌基薄膜晶体管的制备和特性研究的中期报告 本研究旨在制备氧化锌基薄膜晶体管，并研究其电学特性。在中期报告中，我们主要介绍了以下内容： 1. 实验过程中使用的材料和仪器设备 本实验所用的材料主要包括氧化锌靶材、玻璃基板、掺杂剂（锂）、稀释剂（氩气）等。实验中所用的仪器设备包括真空蒸发系统、气压计、电性能测试仪等。 2. 氧化锌基薄膜晶体管的制备 通过真空蒸发系统将氧化锌靶材蒸发在玻璃基板上，同时掺杂剂锂和稀释剂氩气也加入到真空系统中。薄膜的厚度和掺杂浓度可以通过调节蒸发时间和加入掺杂剂的量来控制。 3. 氧化锌基薄膜晶体管的电学特性研究 通过电性能测试仪测量氧化锌基薄膜晶体管的电学特性，包括漏电流、阈值电压、饱和电流等。我们发现，薄膜厚度和掺杂浓度都会影响晶体管的电学特性。此外，我们还发现了一些可能的电学缺陷，需要进一步研究。 4. 接下来的工作方向 在接下来的研究中，我们将继续优化氧化锌基薄膜晶体管的制备工艺，并深入研究其电学特性，并探索其在电子器件中的应用前景。