DB52T 902-2014 电子级三溴化硼.docx
ICS71.060.50G12
DB52
贵州省地方标准DB52/T902—2014
电子级三溴化硼
Electronicgradeborontribromide
2014-06-09发布2014-07-09实施
贵州省质量技术监督局发布
I
DB52/T902—2014
目次
前言 II
1范围 1
2规范性引用文件 1
3分子式和相对分子质量 1
4分级 1
5要求 2
6试验方法 2
7检验规则 5
8包装、标志、运输和贮存 6
II
DB52/T902—2014
前言
本标准依照GB/T1.1-2009《标准化工作导则第1部分：标准的结构和编写》给出的规则起草。本标准的某些内容可能涉及专利内容。本文件的发布机构不承担识别这些专利的责任。
本标准由贵州威顿晶磷电子材料有限公司提出。本标准由贵州省质量技术监督局归口。
本标准起草单位：贵州省产品质量监督检验院、贵州威顿晶磷电子材料有限公司。
本标准主要起草人：钟宏波、蒋飚、黄春银、祝飘、冯永渝、陈文强、陈泉、刘涛、龚宁、黄海英、周大颖、麻晖、伍昌维、邵青松、程化鹏。
1
DB52/T902—2014
电子级三溴化硼
1范围
本标准规定了电子级三溴化硼的分级、要求、试验方法、检验规则、标志、标签、包装、运输、贮存和安全。
本标准适用于用工业三溴化硼原料经精馏、提纯、超净过滤后制得的电子级三溴化硼。该产品主要应用于太阳能光伏电池、液晶显示器件、集成电路和超大规模集成电路芯片的扩散源等。
本标准不涉及使用安全性问题，本标准的使用人应负责建立适当的安全健康条款及适用范围的建立。
2规范性引用文件
下列文件对于本文件的应用是必不可少的。凡是注日期的引用文件，仅所注日期的版本适用于本文件。凡是不注日期的引用文件，其最新版本（包括所有的修改单）适用于本文件。
GB190危险货物包装标志
GB50472电子工业纯净厂房设计规范（附条文说明）GB/T601化学试剂标准滴定溶液的制备
GB/T603化学试剂试验方法中所用制剂及制品的制备GB/T6678化工产品采样总则
GB/T6680液体化工产品采样通则
GB/T6682分析实验室用水规格和试验方法
GB/T8170数值修约规则与极限数字的表示和判定GB/T11446.1电子级水
3分子式和相对分子质量
分子式：BBr3
相对分子质量：250.5（按2011年国际相对原子质量）。
4分级
电子级三溴化硼分为两种规格：
6N级：纯度（基于金属杂质）≥99.9999%，主要用于太阳能光伏电池扩散源；
7N级：纯度（基于金属杂质）≥99.99999%，主要用于大规模集成电路（IC）、分离器件扩散源；
5要求
2
DB52/T902—2014
5.1外观：无色或稍带黄色的发烟液体。5.2电子级三溴化硼应符合表1要求。
表1要求
项目
6N级
7N级
纯度（基于金属杂质）≥
99.9999%
99.99999%
铝（Al）/(μg/kg）≤
15
5
砷（As）/(μg/kg）≤
4
1
银（Ag）/(μg/kg）≤
2
1
金（Au）/(μg/kg）≤
2
1
钡（Ba）/(μg/kg）≤
2
1
铋（Bi）/(μg/kg）≤
2
1
钙（Ca）/(μg/kg）≤
10
5
钴（Co）/(μg/kg）≤
2
1
铜（Cu）/(μg/kg）≤
5
2
铬（Cr）/(μg/kg）≤
2
1
铁（Fe）/(μg/kg）≤
20
10
镓（Ga）/(μg/kg）≤
2
1
汞（Hg）/(μg/kg）≤
12
1
钾（K/）(μg/kg）≤
10
3
锂（Li）/(μg/kg）≤
2
1
镁（Mg）/(μg/kg）≤
20
8
锰（Mn）/(μg/kg）≤
2
1
钠（Na）/(μg/kg）≤
10
5
镉（Cd）/(μg/kg）≤
2
1
镍（Ni）/(μg/k