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具有梁结构的压电MEMS硅谐振器及其形成方法、电子设备.pdf

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(19)国家知识产权局 (12)发明专利 (10)授权公告号 CN 113381717 B (45)授权公告日 2023.04.07 (21)申请号 202110477297.0 (56)对比文件 (22)申请日 2021.04.29

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