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具有高Q值的声表面波谐振器及其制备方法.pdf

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(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 113346859 A (43)申请公布日 2021.09.03 (21)申请号 202110769326.0 (22)申请日 2021.07.07 (71)申请人无锡中微晶园电子有限公司

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