GB/T 22571-2008表面化学分析 X射线光电子能谱仪 能量标尺的校准.pdf
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酉亘
中华人民共和国国家标准
2257 1 1
GB／T 1—2008／ISO5472：200
表面化学分析 X射线光电子能谱仪
能量标尺的校准
Surfacechemical
analysis--X-rayphotoelectron
Calibrationof scales
energy
(ISO15472：2001，IDT)
2008—12—11发布
丰瞀鹳紫瓣警糌瞥星发布中国国家标准化管理委员会捉19
15472：2001
GB／T22571--2008／1SO
目 次
前言···…·…·…···…···’。‘‘’’’’‘。…’‘‘‘‘‘‘’‘‘‘‘‘‘…·‘。。-·…······‘’’’’‘‘…’‘‘…‘‘。…‘‘‘‘‘‘‘’‘‘‘‘‘‘‘‘‘‘”
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1范围……………………·………………………………………………’……………………‘
2规范性引用文件………··……·………………………………………··…··………………．．
3符号和缩略语……………·……·……………………………………………·……·………．．
4方法概述…·…………………………………………··……………………………………… ⅢⅣ，，●0
5校准能量标尺的步骤…………………·……………………………………………………．．
附录A(规范性附录)用一种简单的计算方法对峰结合能作最小二乘法确定…··…………
附录B(资料性附录)不确定度的推导……………………………………·…………………·
附录c(资料性附录)对测得的结合能不确定度的引用………·……………………………·
附录D(资料性附录)用配置单色化A1x射线源的XPS谱仪测量修改型俄歇参数的方法
参考文献…………………………………………………………………………………………。‘ 0H¨M加
15472：2001
GB／T22571--2008／ISO
刖 罱
本标准等同采用ISO
为便于使用，本标准对ISO15472：2001做了下列编辑性修改：
——删除了原国际标准的前言部分}
——将本国际标准改为本标准。
附录A为规范性附录，附录B、附录C和附录D为资料性附录。
本标准由全国微束分析标准化技术委员会提出并归口。
本标准起草单位：复旦大学应用表面物理国家重点实验室。
本标准主要起草人：丁训民、吴扬、虞玲。
Ⅲ
15472：2001
GB／T22571--2008／1SO
引 言
x射线光电子能谱(XPS)被广泛用于材料的表面分析。样品中的元
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