GB/Z 32490-2016表面化学分析　X射线光电子能谱　确定本底的程序.pdf

ICS71.040.40 G04 中华人民共和国国家标准化指导性技术文件 / — / / : GBZ32490 2016ISOTR183922005 表面化学分析 X射线光电子能谱 确定本底的程序 — — Surfacechemicalanalsis X-ra hotoelectronsectrosco y yp p py Proceduresfordeterminin backrounds g g ( / : , ) ISO TR183922005IDT 2016-02-24发布 2017-01-01实施 中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局 发 布 中 国 国 家 标 准 化 管 理 委 员 会 / — / / : GBZ32490 2016ISOTR183922005 目 次 前言 ………………………………………………………………………………………………………… Ⅲ 引言 ………………………………………………………………………………………………………… Ⅳ 1 范围 ……………………………………………………………………………………………………… 1 2 术语和定义 ……………………………………………………………………………………………… 1 3 缩略语 …………………………………………………………………………………………………… 1 4 XPS中本底的类型 ……………………………………………………………………………………… 1 电子能谱图中 射线卫星峰的扣除 …………………………………………………………………… 5 X 1 6 电子能谱图中非弹性电子散射的估算与扣除 ………………………………………………………… 2 6.1 概述 ………………………………………………………………………………………………… 2 6.2 解析非弹性电子散射的程序 ……………………………………………………………………… 2 6.3 解析非弹性和弹性散射的程序 …………………………………………………………………… 4 6.4 不常用的程序 ……………………………………………………………………………………… 4 6.5 表面和内壳层空穴效应在确定本底中的作用 …………………………………………………… 4 6.6 确定非均匀材料的本底 …………………………………………………………………………… 4 7 扣除电子能谱中非弹性散射效应的方法比较 ………………………………………………………… 5 参考文献……………………………………………………………………………………………………… 6