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垂直磁各向异性FePt薄膜的微观结构与织构研究.docx

发布：2023-05-14约2.7千字共6页下载文档
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垂直磁各向异性FePt薄膜的微观结构与织构研究 垂直磁各向异性FePt薄膜的微观结构与织构研究 摘要：本文通过磁控溅射技术，在不同的退火温度下制备了具有垂直磁各向异性的FePt薄膜，并利用X射线衍射仪、透射电子显微镜、原子力显微镜等手段研究了其微观结构和织构。结果表明，经过适当的退火处理后，FePt薄膜具有高度的[001]轴向织构，且晶粒尺寸随着退火温度的升高而呈现逐渐增大的趋势。同时，在薄膜表面还发现了一定数量的纳米粒子，这些纳米粒子的存在可能与薄膜的微观结构和磁性质密切相关。 关键词：磁各向异性，FePt薄膜，微观结构，织构，磁性质 1.引言 垂直磁各向异性FePt薄膜由于其在数据
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