一种排气装置、反应腔和半导体镀膜设备.pdf
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(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号CN117721445A
(43)申请公布日2024.03.19
(21)申请号202311749418.8
(22)申请日2023.12.18
(71)申请人江苏微导纳米科技股份有限公司
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