GB/T 8760-2020砷化镓单晶位错密度的测试方法.pdf

ICS77.040 H21 中华人 民共和 国国家标准 / — GBT8760 2020 代替 / — GBT8760 2006 砷化镓单晶位错密度的测试方法 Testmethodfordislocationdensitofmonocrstalalliumarsenide y y g 2020-09-29发布 2021-08-01实施 国家市场监督管理总局 发 布 国家标准化管理委员会 / — GBT8760 2020 前 言 本标准按照 / — 给出的规则起草。 GBT1.1 2009 / — 《 》。 / — 本标准代替 GBT8760 2006砷化镓单晶位错密度的测量方法 本标准与 GBT8760 2006 , : 相比 除编辑性修改外主要技术变化如下 ——— ( , ); 修改了标准范围中的规定内容和适用范围 见第 章 年版的第 章 1 2006 1 ——— ( ); 增加了规范性引用文件 见第 章 2 ——— 、 , “ / 删除了位错 位错密度的术语和定义 增加了引导语 GBT14264界定的术语和定义适用于 ”( , 、 ); 本文件 见第 章 年版的 3 2006 2.12.2 ——— “ ” ( , ); 删除了方法原理中 采用择优化学腐蚀技术显示位错 的内容 见第 章 年版的第 章 4 2006 3 ——— “ , , 增加了 除非另有说明 测试分析中仅使用确认为分析纯及以上的试剂 所用水的电阻率不小