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GB/T 41153-2021碳化硅单晶中硼、铝、氮杂质含量的测定　二次离子质谱法.pdf

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ICS77.040 CCSH 17 中华人 民共和 国国家标准 / — GBT41153 2021 、 、 碳化硅单晶中硼 铝 氮杂质含量的测定 二次离子质谱法 , Determinationofboronaluminumandnitroenim uritcontentinsilicon g p y — carbidesinlecrstal Secondarionmasssectrometr g y y p y 2021-12-31发布 2022-07-01实施 国家市场监督管理总局 发 布 国家标准化管理委员会 中 华 人 民 共 和 国 国 家 标 准 、 、 碳化硅单晶中硼 铝 氮杂质含量的测定 二次离子质谱法 / — GB T 41153 2021 * 中 国标 准 出版 社 出版 发 行 北京市朝阳区和平里西街甲 号( ) 2 100029 北京市西城区三里河北街 号( ) 16 100045 网址: p g 服务热线: 400-168-0010 年 月第一版 2021 12
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