GB/T 24582-2023多晶硅表面金属杂质含量测定 酸浸取-电感耦合等离子体质谱法.pdf
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ICS77.040
CCSH 17
中华人 民共和 国国家标准
/ —
GBT24582 2023
代替 / —
GBT24582 2009
多晶硅表面金属杂质含量测定
酸浸取 电感耦合等离子体质谱法
-
Testmethodformeasurin surfacemetalim uritcontentofolcrstalline
g p y p y y
—
silicon Acidextraction-inductivelcouled lasmamasssectrometrmethod
y p p p y
2023-08-06发布 2024-03-01实施
国家市场监督管理总局
发 布
国家标准化管理委员会
/ —
GBT24582 2023
前 言
/ — 《 : 》
本文件按照 标准化工作导则 第 部分 标准化文件的结构和起草规则 的规定
GBT1.1 2020 1
起草。
/ — 《 》,
本文件代替 酸浸取 电感耦合等离子质谱仪测定多晶硅表面金属杂质 与
GBT24582 2009 -
/ — , , :
GBT24582 2009相比 除结构调整和编辑性改动外 主要技术变化如下
) ( , );
更改了适用范围 见第 章 年版的第 章
a 1 2009 1
) “ ” “ ”( );
删除了 术语 与 缩略语 见 年版的第 章
b 2009 3
) ( , );
更改了方法原理 见第 章 年版的第 章
c 4 2009 4
) ( ,
显示全部