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宁夏靶材项目建议书.docx

发布:2022-10-06约6.1万字共128页下载文档
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泓域咨询/宁夏靶材项目建议书 报告说明 硅基半导体材料是目前产量最大、应用最广的半导体材料,通常将95-99%纯度的硅称为工业硅。沙子、矿石中的二氧化硅经过纯化,可制成纯度98%以上的硅;高纯度硅经过进一步提纯变为纯度达99.9999999%至99.999999999%(9-11个9)的超纯多晶硅;超纯多晶硅在石英坩埚中熔化,并掺入硼(P)、磷(B)等元素改变其导电能力,放入籽晶确定晶向,经过单晶生长,便生长出具有特定电性功能的单晶硅锭。单晶硅的制备方法通常有直拉法(CZ)和区熔法(FZ),直拉法硅片主要用在逻辑、存储芯片中,市占率约95%,区熔法硅片主要用在部分功率芯片中,市占率约4%。熔体
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