2025年多晶硅磁控溅射靶材项目建议书.docx
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多晶硅磁控溅射靶材项目建议书
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多晶硅磁控溅射靶材项目建议书
目录
TOC\o1-9序言 4
一、工艺先进性 4
(一)、多晶硅磁控溅射靶材项目建设期的原辅材料保障 4
(二)、多晶硅磁控溅射靶材项目运营期的原辅材料采购与管理 5
(三)、技术管理的独特特色 7
(四)、多晶硅磁控溅射靶材项目工艺技术设计方案 9
(五)、设备选型的智能化方案 10
二、建设规划分析 11
(一)、产品规划 11
(二)、建设规模 12
三、多晶硅磁控溅射靶材项目概论 13
(一)、创新计划及多晶硅磁控溅射靶材项目性质 13
(二)、主管单位与多晶
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