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Varian离子注入机EHP220设备规格
概要
本E220中束流离子注入机使用离子源，通过磁分析器、平行束透镜、加速系统等系统来完成注入。B+束流达0.9mA，P+束流达1.6mA，As+束流达1.2mA。
系统组成
E220中束流离子注入机主要由以下几个主要系统组成：2-1〕、束线系统；
2-2〕、靶室系统；
2-3〕、电源系统；
2-4〕、关心系统；
2-5〕、把握系统；
性能指标
3-1〕、离子能量：10-200keV〔+〕
3-2〕、束流
能量到靶束流〔uA〕最小束流：10μA，
能量
到靶束流〔uA〕
KeV
P+
As+
B+
200
1600
1200
9
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