ZnO透明导电薄膜结构与特性 .pdf
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沈阳工业大学
毕业实习报告
题目:ZnO透明薄膜结构与特性研究
班级:________________
学号:_________________
姓名:__________________
沈阳工业大学应用物理系制
ZnO
ZnC
ZnO(SEM^HX(XRD),
370nm,85%
A13+ZnO:(1)ZAOZnC
;(2)ZAOZnC;(3)ZAOA13+;(4)A13+,
,Af+1%700,1.3x1O3S/cm
ZnO-Al3+
1.1ZnO
ZnOnvl
ZnO
ZnZnO:
Zn,
ZnO,
1.2ZAO
,,
90,ZnO
ZnO
1991,ZnO
AlGa
1996
ZnO,
ZnO
[],
1-3
FeCoNiMnZnO
ZnO
1997,
p
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