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ZnO透明导电薄膜结构与特性 .pdf

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沈阳工业大学

毕业实习报告

题目:ZnO透明薄膜结构与特性研究

班级:________________

学号:_________________

姓名:__________________

沈阳工业大学应用物理系制

ZnO

ZnC

ZnO(SEM^HX(XRD),

370nm,85%

A13+ZnO:(1)ZAOZnC

;(2)ZAOZnC;(3)ZAOA13+;(4)A13+,

,Af+1%700,1.3x1O3S/cm

ZnO-Al3+

1.1ZnO

ZnOnvl

ZnO

ZnZnO:

Zn,

ZnO,

1.2ZAO

,,

90,ZnO

ZnO

1991,ZnO

AlGa

1996

ZnO,

ZnO

[],

1-3

FeCoNiMnZnO

ZnO

1997,

p

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