激光锡等离子体的状态参数分布和极紫外波段辐射的模拟研究.docx

激光锡等离子体的状态参数分布和极紫外波段辐射的模拟研究

目录

激光锡等离子体的状态参数分布和极紫外波段辐射的模拟研究（1）

内容概览．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．4

1.1研究背景．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．4

1.2研究目的与意义．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．5

1.3国内外研究现状．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．6

理论基础．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．7

2.1激光锡等离子体物理基础．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．8

2.2极紫外波段辐射原理．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．9

2.3模拟方法与技术．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．10

激光锡等离子体状态参数分布模拟．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．12

3.1模拟模型建立．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．13

3.2参数设置与初始化．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．14

3.3模拟结果分析．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．16

3.3.1等离子体温度分布．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．17

3.3.2等离子体密度分布．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．18

3.3.3等离子体电子能级分布．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．19

极紫外波段辐射模拟．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．20

4.1辐射模型建立．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．20

4.2辐射参数计算．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．22

4.3辐射强度分布模拟．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．23

结果与讨论．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．24

5.1激光锡等离子体状态参数分布模拟结果．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．24

5.1.1等离子体温度分布特点．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．25

5.1.2等离子体密度分布特点．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．26

5.1.3等离子体电子能级分布特点．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．27

5.2极紫外波段辐射模拟结果．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．28

5.3结果对比与分析．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．29

激光锡等离子体的状态参数分布和极紫外波段辐射的模拟研究（2）

内容描述．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．30

1.1研究背景与意义．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．31

1.2国内外研究现状．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．32

1.3研究内容与方法．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．33

1.4论文结构安排．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．34

理论基础．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．36

2.1等离子体物理基础．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．37

2.2激光物理基础．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．38

2.3极紫外波段辐射特性．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．39

2.4状态参数分布理论．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．41

实验装置与测试方法．．．．