激光Mg等离子体的极紫外辐射研究及软X射线光谱仪的设计.pdf
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摘要
摘要
由高能纳秒脉冲激光束聚焦到物质靶材上产生的等离子体内部存在着多种电
荷态的离子，这些离子的丰度能够用于理解光谱结构。而电子温度、电子密度和离
子速度等参数是描述等离子体状态的重要依据，随着等离子体在真空中的膨胀冷
却，各状态参数也将用于阐述等离子体的演化过程。激光等离子体作为一种理想的
脉冲短波光源对于极紫外光刻以及“水窗”波段的生物成像等应用至关重要。用于极
紫外或软X射线波段的光栅光谱仪是研究等离子
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