《晶体生长工艺详解》课件.ppt
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晶体生长工艺详解;课程概述;第一部分：晶体生长基础;什么是晶体？;晶体生长的热力学基础;晶体生长动力学;晶体缺陷;第二部分：晶体生长方法;固相生长法;液相生长法概述;直拉法（Czochralski法）;区熔法（FloatZone法）;液相外延法;提拉法（Bridgman法）;气相生长法概述;化学气相沉积（CVD）;物理气相沉积（PVD）;分子束外延（MBE）;溶液法;水热法;第三部分：半导体晶体生长;半导体材料概述;硅单晶生长;锗单晶生长;砷化镓（GaAs）晶体生长;碳化硅（SiC）晶体生长;氮化镓（GaN）晶体生长;第四部分：先进晶体生长技术;;高纯度晶体生长;超薄晶体生长;
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