超声振动辅助抛光单晶硅材料的微观去除机制与工艺优化研究.docx
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一、引言
1.1研究背景与意义
在现代科技飞速发展的进程中，单晶硅作为一种极为重要的半导体材料，在诸多关键领域中发挥着不可替代的核心作用。在半导体领域，超过90%的集成电路芯片以单晶硅为基础进行制作。随着电子产品不断朝着小型化、高性能化方向发展，对集成电路芯片的性能和集成度提出了更高要求，这使得单晶硅材料的品质和加工精度成为影响芯片性能的关键因素。在太阳能电池领域，单晶硅凭借其较高的光电转换效率，成为太阳能发电的重要材料之一，被广泛应用于大规模太阳能电站和分布式光伏发电系统，其加工质量直接影响太阳能电池的发电效率和使用寿命。在传感器领域，单晶硅的高灵敏度和稳定性使其能够精确感知各种物理量
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