多单晶硅加工工艺应用研究及质量控制.doc

毕业设计（论文）题目 摘 要 【从这里键入摘要内容。字体和格式均不需要修改。页面格式已经设置完毕(小四号宋体)。】 这次毕业论文，主要论述单晶硅从硅料拉制出来，形成硅棒，经过截断、开方、磨面，滚圆形成可以切片的硅块的过程！ 硅的单晶体。具有基本完整的点阵结构的晶体。不同的方向具有不同的性质，是一种良好的半导材料。纯度要求达到99.9999％，甚至达到99.9999999％以上。用于制造半导体器件、太阳能电池等。用高纯度的多晶硅在单晶炉内拉制而成。 关键词：1拉晶，2截断，3开方，4磨面，5滚圆 页眉设置：洛阳理工学院毕业设计（论文） 页码设置：前言之前部分用I，Ⅱ，Ⅲ…编号 从前言开始用阿拉伯数字1，2，3…编号，前言为第1页 英文题目 ABSTRACT 【从这里键入英文摘要内容】 英文摘要须与中文摘要内容相对应，英文摘要约250个实词；关键词要反映毕业设计说明书（论文）的主要内容，数量一般为3-5个。 KEY WORDS: 关键词1，关键词2，关键词3，关键词4，关键词5 目　录 前　言 1 第1章 ×××××× 2 1.1 ×××××× 2 1.1.1 ×××××× 2 1.1.2 ×××××× 2 1.1.3 ×××××× 2 第2章 ×××××× 4 2.1 ×××××× 4 2.1.1 ×××××× 4 2.1.2 ×××××× 4 2.2 ×××××× 5 2.2.1 ×××××× 5 第3章 ×××××× 6 3.1 ×××××× 6 3.1.1 ×××××× 6 3.1.2 ×××××× 6 3.2 ×××××× 6 第4章 ×××××× 7 4.1 ×××××× 7 4.1.1 ×××××× 7 4.1.2 ×××××× 7 4.2 ×××××× 7 第5章 ×××××× 8 5.1 ×××××× 8 5.1.1 ×××××× 8 5.1.2 ×××××× 8 5.2 ×××××× 8 5.2.1 ×××××× 8 5.2.2 ×××××× 8 结　论 9 谢 辞 10 参考文献 11 附　录 13 外文资料翻译 14  前　言 【标题上下各空一行，从这里输入前言内容，前言格式已设置好，不需要修改。】 前言应说明本课题的意义、目的、研究范围及要达到的技术要求；简述本课题在国内外的发展概况及存在的问题；说明本课题的指导思想；阐述本课题应解决的主要问题和采用的研究方法，要求自然、概括、简洁、确切。在文字量上要比摘要多。 发展现状 单晶硅建设项目具有巨大的市场和广阔的发展空间。在地壳中含量达25.8%的硅元素，为单晶硅的生产提供了取之不尽的源泉。 　　近年来，各种晶体材料，特别是以单晶硅为代表的高科技附加值材料及其相关高技术产业的发展，成为当代信息技术产业的支柱，并使信息产业成为全球经济发展中增长最快的先导产业。单晶硅作为一种极具潜能，亟待开发利用的高科技资源，正引起越来越多的关注和重视。 　　与此同时，鉴于常规能源供给的有限性和环保压力的增加，世界上许多国家正掀起开发利用太阳能的热潮并成为各国制定可持续发展战略斩重要内容。 　　在跨入21世纪门槛后，世界大多数国家踊跃参与以至在全球范围掀起了太阳能开发利用的“绿色能源热”，一个广泛的大规模的利用太阳能的时代正在来临，太阳能级单晶硅产品也将因此炙手可热。 　　此外，包括我国在内的各国政府也出台了一系列“阳光产业”的优惠政策，给予相关行业重点扶持，单晶硅产业呈现出美好的发展前景。 　　单晶硅性质；单晶硅具有金刚石晶格。晶体硬而脆具有金属光泽。能导电。但导电率不及金属,随温度升高而增加。具有半导体性质。单晶硅是重要的半导体材料，在单晶硅中掺入微量的IIIA族元素，形成P型半导体。掺入微量的第vA族元素，形成N型半导体。形成N型和P型导体结合在一起。就可以做成太阳能电池。将辐射能转变为电能。在开发电能方面是一种很有前途的材料。 研究趋势 　　日本、美国和德国是主要的硅材料生产国。中国硅材料工业与日本同时起步，但总体而言，生产技术水平仍然相对较低，而且大部分为2.5、3、4、5英寸硅锭和小直径硅片。中国消耗的大部分集成电路及其硅片仍然依赖进口。但我国科技人员正迎头赶上，于1998年成功地制造出了12英寸单晶硅，标志着我国单晶硅生产进入了新的发展时期。目前，全世界单晶硅的产能为1万吨/年，年消耗量约为6000吨～7000吨。未来几年中，世界单晶硅材料发展将呈现以下发展趋势： 1、微型化 　　随着半导体材料技术的发展，对硅片的规格和质量也提出更高的要求，适合微细加工的大直径硅片在市场中的需求比例将日益加大。目前，硅片主流产品是200mm，逐渐向300mm过渡，研制水平达到400