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硬脆薄壁曲面气囊抛光材料去除机理及工艺研究.pdf

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硬脆薄壁曲面气囊抛光材料去除机理及工艺研究摘要

硬脆薄壁曲面气囊抛光材料去除机理及工艺研究

摘要

硬脆薄壁材料例如蓝宝石等材料被广泛应用于航空航天、高端机械等重要领

域,然而由于蓝宝石材料具有高硬度、高脆性、高耐磨性及各向异性等特点,在

传统机械加工过程中容易造成表面损伤和亚表面损伤,工件材料表面的曲率变化

更是加大了抛光的难度。而气囊抛光是一种适用性较高的超精密抛光方式,气囊

抛光过程中能

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