Silvaco-TCAD-器件仿真3.ppt

* Silvaco学习 * 特性获取 log outf=ac.log s.param inport=gate outport=drain width=100 solve ac.analysis direct frequency=1.e9 fstep=2.e9 nfsteps=20 log outf=ac.log s.param inport=gate outport=drain \ in2port=source out2port=source width=100 rin=100 solve ac.analysis direct frequency=1.e9 fstep=2.e9 nfsteps=20 S参数仿真（电流增益随频率变化的特性）： * Silvaco学习 * 特性获取 models srh ?dmob bz=1.0 model temperature=300 solve init # probe name=hall1 x=0.0 y=0.5 potential probe name=hall2 x=1.0 y=0.5 potential probe name=reference x=0.5 y=0.5 potential # log outf=hall_e?ect.log solve name=anode vanode=0.0 vstep=0.05 v?nal=1.0 霍尔效应仿真： * Silvaco学习 * 特性获取 beam num=1 x.orign=5 y.orign=?2 angle=90 wavelenght=.8 beam num=1 x.orign=5 y.orign=?2 angle=90 wavel.start=.5 \ wavel.end=1.7 wave.num=13 beam num=2 x.orign=1 y.orign=?1 angle=90 wavelength=1.5 \ back.re? front.re? re?ect=5 min.power=0.01 beam num=3 x.orign=2 y.orign=?0.5 angle=90 wavelength=0.9 \ rays=101 gaussian mean=0 xsigma=0.25 光电效应仿真时光线的设置： 波长、入射点位置和角度： 一定范围的波长： 前后背面的反射： 光强为高斯分布： * Silvaco学习 * 特性获取 beam num=1 x.origin=2.5 y.origin=?1.0 angle=90.0 wavelength=.4 # solve init solve vcathode=0.05 vstep=0.05 v?nal=1.0 name=cathode # log outf=spectral_Response.log master solve prev b1=2 lambda=0.5 solve prev b1=2 lambda=0.6 solve prev b1=2 lambda=0.7 solve prev b1=2 lambda=0.8 solve prev b1=2 lambda=0.9 solve prev b1=2 lambda=1.0 solve prev b1=2 lambda=1.2 光电效应仿真： * Silvaco学习 * 特性获取 models bgn srh conmob fldmob method newton # set up initial DC bias solve vcathode=0.1 vstep=0.1 vfinal=3.0 name=cathode # set up the track of the radiation for SEU singleeventupset entry=2.0,1.5,0. exit=1.,1.,4 radius=0.05 \ density=1e18 method halfimpl dt.min=3.e-12 log outf=seu_0.log solve tfinal=1.e-9 tstep=3.e-12 SEU仿真： 三维器件仿真 三维器件仿真流程和语法可参照二维仿真 位置坐标是三维数据 物理模型少数会有差别 * Silvaco学习 * * Silvaco学习 * 仿真结果分析 仿真结果的表现形式 1、包含有电学、光学、热学信息等的结构文件（可由Tonyplot 导出数据） 2、仿真得到的日志文件（可由Tonyplot 导出数据） 3、抽取的结果（*.dat 或是在实时输出窗口显示） * Silvaco学习 * 从结构文件中导出数据 Format:Tonyplot User Data