Silvaco_TCAD的模拟实例.pdf
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製程模擬 半導體工程
•晶體成長、晶圓製造
電腦模擬軟體(TCAD:Technology •無塵室 、晶圓清洗、吸附
Computer-Aided Design) •微影
•熱氧化
1.設計新製程與元件 •摻質擴散
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