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Silvaco_TCAD的模拟实例.pdf

发布:2018-05-22约1.78万字共24页下载文档
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製程模擬 半導體工程 •晶體成長、晶圓製造 電腦模擬軟體(TCAD:Technology •無塵室 、晶圓清洗、吸附 Computer-Aided Design) •微影 •熱氧化 1.設計新製程與元件 •摻質擴散
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