《电子束辐照GaN》课件.ppt

电子束辐照GaN;目录;第一部分：GaN材料基础;GaN的晶体结构;GaN的电子特性;GaN在电子器件中的应用;GaN材料的优势和局限性;第二部分：电子束辐照基础;电子束辐照原理;电子束辐照设备;电子束辐照的参数控制;电子束辐照的应用领域;第三部分：电子束辐照对GaN的影响;辐照剂量对GaN的影响;辐照能量对GaN的影响;辐照温度对GaN的影响;辐照气氛对GaN的影响;第四部分：GaN的缺陷形成;辐照引起的点缺陷;辐照引起的位错;辐照引起的团簇;缺陷的演化过程;第五部分：电子束辐照对GaN电学性质的影响;载流子浓度变化;载流子迁移率变化;电阻率变化;肖特基势垒高度变化;第六部分：电子束辐照对GaN光学性质的影响;带边发光变化;深能级发光变化;光吸收特性变化;折射率变化;第七部分：电子束辐照对GaN热学性质的影响;热导率变化;热膨胀系数变化;比热容变化;热稳定性变化;第八部分：电子束辐照GaN的应用;辐照改性GaN的电子器件;辐照改性GaN的光电器件;辐照改性GaN的传感器;辐照改性GaN的太阳能电池;第九部分：电子束辐照GaN的表征技术;X射线衍射（XRD）分析;透射电子显微镜（TEM）分析;扫描电子显微镜（SEM）分析;原子力显微镜（AFM）分析;光致发光（PL）分析;拉曼光谱分析;霍尔效应测量;第十部分：电子束辐照GaN的理论模拟;蒙特卡罗模拟;分子动力学模拟;密度泛函理论计算;缺陷形成能计算;第十一部分：电子束辐照GaN的未来展望;高能电子束辐照GaN;脉冲电子束辐照GaN;电子束辐照与其他技术的复合应用;总结与展望