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ws2xse21xsi异质结光电探测器及其性能研究.docx

发布:2024-11-06约1.61万字共16页下载文档
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WS2xSe2(1-x)/Si异质结光电探测器及其性能研究

摘要:二维材料WS2xSe2(1-x)薄膜具有独特的结构和出色的物理特性,在光电探测领域拥有广阔的应用前景,是下一代光电子器件的理想构筑材料。本文主要讨论的问题为:介绍磁控溅射仪和化学气相沉积法(CVD),以SiO2/Si为衬底制作WSSe薄膜。使用电子扫描显微镜等仪器对其表面形态和微观结构进行观察,确定二维WSSe薄膜的品质。然后以此为基础构筑WSSe器件,研究该器件的光电性能,对其在光电探测器上的应用做出一定的指导。关键词:WSSe;二维材料;磁控溅射;化学气相沉积法(CVD);光电性能

1绪论

1.1石墨烯

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