GBT-蓝宝石单晶衬底抛光片.pdf

ICS29.045

CCSH83

中华人欑共和国国家标准

GB/T30858—XXXX

代替GB/T30858—2014

蓝宝石单晶衬底抛光片

Polishedmono-crystallinesapphiresubstratewafer

（审定稿）

201X-XX-XX发布201X-XX-XX实施

GB/TXXXXX—XXXX

前言

本文件按照GB/T1.1—2020《标准化工作导则第1部分：标准化文件的结构和起草规则》的规

定起草。

本文件代替GB/T30858—2014《蓝宝石单晶衬底抛光片》，与GB/T30858—2014相比，除结构

调整和编辑性改动外，主要技术变化如下：

a)更改了适用范围（见第1章，2014年版的第1章）；

b)更改了规范性引用文件（见第2章，2014年版的第2章）；

c)删除了“蓝宝石”、“衬底”、“局部厚度变化”、“蓝宝石晶棒”、“亮点”的定义（见2014

年版的3.1、3.2、3.3、3.4、3.5）；

d)增加了“殾歡”的定义（见3.1）；

e)增加了总则（见4.1）；

f)更改了化学组成的要歂（见4.2，2014年版的4.1）；

g)更改了结晶完整性的要歂（见4.3，2014年版的4.2）；

h)删除了生长方法的要歂（见2014年版的4.4）；

i)更改了表面取向及主参考面取向或主参考槽取向（见4.4，2014年版的4.4），删除了图1（见

2014年版的4.4）、图2（见2014年版的4.4）；

j)更改了尺寸及允许偏差的要歂，增加了边缘宽度的要歂（见4.5.1，2014年版的4.5）；

k)增加了参考槽的尺寸及允许偏差的要歂（见4.5.2），增加了参考槽的结构图（见图1）；

l)更改了表面缺陷的要歂（见4.8，2014年版的4.8）；

m)更改了背面缺陷的要歂（见4.9，2014年版的4.9）；

n)更改了颗粒度的要歂（见4.10，2014年版的4.10）；

o)更改了总杂质含量、结晶完整性、表面取向及主参考面取向或主参考槽取向、尺寸及允许偏差、

表面粗糙度的试验方法（见第5章，2014年版的第5章）；

p)更改了检查和验收的要歂（见6.1，2014版的6.1）；

q)更改了组批的要歂（见6.2，2014版的6.2）；

r)更改了检验项目及取样的要歂（见6.3，2014版的6.3）；

s)更改了检验结果的判定方法（见6.5，2014版的6.4）；

t)更改了标志的内容（见7.1，2014版的7.1）；

u)更改了包装的内容（见7.2，2014版的7.2）；

v)增加了随行文件的内容（见7.4）。

请注意本文件的某些内容可能涉及专利。本文件的发布机构不承担识别专利的责任。

本文件由全国半导体设备和材料标准化