《洁净生产车间环境在线监测技术规程》征求意见稿.pdf

ICS

SZCA

深圳市洁净行业协会团体标准

T/SZCA-X-2021

洁净生产车间环境在线监测技术规程

TechnicalSpecificationforCleanRoomEnvironmentOn-lineMonitoring

2021-XX-XX发布2021-XX-XX实施

深圳市洁净行业协会

联合发布

深圳市计量质量检测研究院

前言

根据深圳市洁净行业协会2020年9月1日关于《洁净生产车间环境在线监测技术规程》的

批复的要求，由深圳市中明科技股份有限公司主编并会同有关单位，共同编制了本规程。

本规程整合了行业著名的科研机构，知名的高校和领先的企业等优势资源参与规程的编制工

作，保证了规程的编制质量。在编制过程中，编委会进行了广泛深入的调查研究，认真总结实践

经验，吸收国内外相关标准和先进技术经验，并在广泛征求意见的基础上，通过反复讨论、修改

与完善，形成了征求意见稿，于2020年12月公开上网征求意见。同时，经审查专家委员会审查

定稿。

根据2020年05月12日科学技术部西南信息中心查新中心对本规程出具的科技查新报告和

（）年（）月（）日送审稿评审会议纪要给予本规程的评价，本规程将打通洁净室内质量

全过程控制的“最后一公里”，填补行业空白，具有很强的实用性；规范洁净生产车间环境的监

测与管理，建造符合洁净物品生产标准的空间环境，实时掌握生产车间环境指标参数，降低运行

风险，符合国家相关部门对洁净生产车间环境监测总体原则，也顺应洁净生产车间环境在线监测

市场总体需求。

本规程的主要技术内容是：1.总则、2．术语、3.设计、4.洁净生产车间基本要求、5.洁净生

产车间监测系统组成、6.仪器、设备及终端、7.施工安装基本要求、8.系统调试、9.竣工验收、10.

维护与保养等。

本规程某些内容涉及知识产权的具体技术问题，使用者可直接与本规程有关知识产权的持有

者协商处理，本规程的发布机构不承担识别这些专利的责任。

本规程由深圳市洁净行业协会、深圳市计量质量检测研究院联合发布并负责解释，执行过程

中如有意见或建议，请寄深圳市洁净行业协会（地址：深圳市福田保税区市花路21号富林大厦

B座411室，邮编：518000，E-mail：admin@szclean.org.cn）。

本规程主编单位、参编单位、审查专家单位、主要起草人员、主要审查人员如下（排名不分

先后）：

主编单位：深圳市中明科技股份有限公司

参编单位：

审查专家单位：

主要起草人员：

主要审查人员：

目次

1总则1

2术语2

3设计3

3.1一般规定3

3.2布点原则3

4洁净生产车间基本要求4

4.1一般规定4

4.2静电防护及接地4

4.3潜在环境破坏因素及分析4

4.4洁净生产车间环境监测指标5

5洁净生产车间监测系统组成6

5.1管理及监控系统6

5.2数据同步服务系统6

5.3数据处理系统7

5.4数据采集及远程控制系统7

5.5通讯系统7

5.6系统扩展说明7

6仪器、设备及终端8

6.1仪器、设备，监控终端组成8

6.2网关及监控终端设备要求8

6.3洁净生产车间环境监控终端设备基本要求9

7施工安装基本要求10

8系统调试11

9竣工验收12

10维护与保养13

10.1、监测数据备份规程13

10.2、在线监测