MEMS关键材料与器件制备：PZT压电厚膜及硅基压电悬臂梁的探索.docx
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MEMS关键材料与器件制备：PZT压电厚膜及硅基压电悬臂梁的探索
一、绪论
1.1研究背景与意义
微电子机械系统（MEMS）技术作为现代科技领域的关键技术之一，在过去几十年中取得了飞速发展。它将微电子技术与机械工程相结合，通过微纳加工技术制造出尺寸微小、功能多样的器件和系统，广泛应用于众多领域，如航空航天、汽车、生物医学、通信、环境监测等。在航空航天领域，MEMS加速度计、陀螺仪等惯性传感器用于飞行器的导航、姿态控制和稳定，其高精度和高可靠性为航天任务的成功执行提供了关键支持，如在卫星的轨道调整和姿态控制中，MEMS惯性传感器能够实时感知卫星的运动状态，为控制系统提供准确的数据，确保卫
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