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单晶蓝宝石基片固结磨料研磨工艺：参数、机理与质量优化研究
一、引言
1.1研究背景与意义
单晶蓝宝石作为一种性能卓越的材料，在现代科技和工业领域发挥着不可或缺的作用。其莫氏硬度高达9级，仅次于金刚石，具有良好的热特性、耐磨性、电气特性和介电特性，在高温环境下仍能保持出色的稳定性。这些优异的性能使得单晶蓝宝石被广泛应用于工业、国防、科研以及光电子器件制造等多个关键领域。
在半导体LED工业中，单晶蓝宝石衬底是生长氮化镓（GaN）基外延片的关键材料。由于其具有高热导性和电绝缘性，能够承受LED生产过程中的高温和电流，同时提供良好的光学透明性，在LED芯片用衬底市场中占据了绝大多
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