PDMS打孔工艺特性研究与参数优化.pdf
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摘要
聚二甲基硅氧烷(polydimethylsiloxane,PDMS)在微流控芯片技术中有非常广泛
的应用,PDMS弹性体打孔是芯片加工中重要的工作环节,理想的PDMS微流控芯片
进出样接口的孔应具备尺寸可控、形位公差小、无裂纹等特
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摘要
聚二甲基硅氧烷(polydimethylsiloxane,PDMS)在微流控芯片技术中有非常广泛
的应用,PDMS弹性体打孔是芯片加工中重要的工作环节,理想的PDMS微流控芯片
进出样接口的孔应具备尺寸可控、形位公差小、无裂纹等特