雷尼绍XL80激光干涉仪操作手册汇总.pdf
文本预览下载声明
镭射干涉仪操作手册
1 / 53
手 册 内 容
一.RENISHAW 公司简介 1
二.镭射干涉仪原理 2
(1)波的速度 3
(2)干涉量测原理 3
(3)镭射干涉仪 4
(4)镭射干涉仪一般量测项目 4
三.注意事项 5
四.镭射干涉仪防止误差及保养 5
(1)镭射干涉仪防止误差 5
(2)镭射干涉仪保养方法 6
五.安全及注意事项 6
六.镭射光原理及特性 7
七.镭射硬件介绍 8
八.镭射架设流程图 15
九.定位量测原理及操作 16
(1)线性定位量测原理 16
(2)量测方式 17
十.镭射易发生之人为架设误差 20
(1)死径误差 20
(2)余弦误差 21
(3)阿倍平移误差 21
十一 .镭射操作之步骤 22
(1)软件安装之步骤 22
(2)执行量测软件 22
显示全部