激光干涉仪.ppt

3.2 激光干涉仪 激光 Leaser 这英文名词是由几个单词缩写而成，其意思是激发辐射光放大。激光是一种能量密度高、方向性强、单色性好的相干光。激光工作原理是，当激光工作物质，也称可激活物质( 如红宝石、钕玻璃氦氖气体等具有亚稳态能级结构的物质)受到光泵( 脉冲激励光源 )的激发后 , 便产生受激辐射跃迁 , 形成光放大 , 再经过由全反射镜和部分反射镜组成的谐振腔产生振荡后 , 成为单向平行光束 , 由腔的一端输出激光束。 RENISHAW公司激光干涉仪 英国RENISHAW公司激光干涉仪的主要技术指标是： 直线位移：０－４０ｍ（范围），准确度±ｐｐｍ±０.０２５μｍ分 辨 率：０.００１μｍ直线速度：范围±０.３５ｍ/ｓ，准确度±０.０５％（ｐｐｍ＝ｌｐａｔｈ ｐｅｒ ｍｉｌｌｉｏｎ） 3.2.1 ML10 激光器 ML10 是一种单频 HeNe 激光器，内含对输出激光束稳频的电子线路及对由测量光学镜产生的干涉条纹进行细分和计数处理。 图 3.26 EC10 环境补偿装置 3.2.2 干涉镜原理 1. Michelson 干涉镜 2. 相长性干涉 3. 相消性干涉 3.2.3 Renishaw ML10 激光器系统 2. 系统设置 图3.37资源管理器窗口3. 启动软件 数据采集主窗口 图3.39 定义目标1. 定义目标 图3.41 采集数据启动2. 数据采集初始化 标题信息、自动采集数据设定 开始采集数据 5.分析采集到的数据 重复定位精度 * * 图4.23 - ML10 Gold Standard ML10激光器 图 4.24 后后面板细节 图 4.25 角度角度俯仰调整指形轮 图 4.26 EC10 环境补偿装置 图 4.28 EC10 后视图 图 4.29 湿度及气压传感器 图 4.30 基本 Michelson 干涉镜 图 4.31相长性干涉 图 4.32 相消性干涉 图 4.34 线性和角度组合镜组 图 4.35 使用线性及角度组合镜组执行线性测量 图 4.36 测量位置的典型系统设置 图4.37资源管理器窗口 图4.38 数据采集主窗口 图4.39 定义目标 图4.40 目标设定 图4.41 采集数据启动 图4.42 标题信息 图4.43 自动采集数据设定 图4.44 数据采集窗口 图4.46 数据的分析图2 *