真空热处理工艺流程图.pptx

真空热处理工艺流程图演讲人：日期:

目录02真空环境建立01工艺预处理阶段03加热参数控制04冷却工艺实施05质量检测体系06设备维护管理

01工艺预处理阶段

材料表面检查标准去除表面污垢检查材料表面是否存在油污、灰尘等污染物，并采取相应措施予以清除。01采用目视或无损检测技术检查材料表面是否存在裂纹、折叠、夹杂等缺陷。02表面粗糙度检查检查材料表面的粗糙度，确保其符合工艺要求，以提高涂层附着力。03检查表面缺陷

清洁与脱脂流程使用有机溶剂清洗材料表面，去除油污和油脂。溶剂清洗碱性清洗酸洗清洗后干燥采用碱性清洗剂对材料表面进行清洗，去除表面的氧化物和其他杂质。针对某些特定材料，采用酸洗的方式去除表面锈蚀和氧化物。清洗后需进行干燥处理，以避免残留水分对后续工艺的影响。

装炉前处理确保工件表面无水分、油污等杂质，以免影响热处理效果。工件装炉将工件合理放置在炉内，确保工件之间留有适当的间隙，以便加热均匀。工件固定采用适当的固定方式，确保工件在热处理过程中不会发生移动或变形。炉内气氛控制确保炉内气氛符合工艺要求，以避免工件在热处理过程中发生氧化或脱碳等现象。工件装炉固定规范

02真空环境建立

炉膛抽真空步骤启动机械泵排除炉膛内大部分气体，达到初级真空。01启用扩散泵在高真空阶段，进一步抽取炉膛内的气体。02真空度检测通过真空计检测炉膛内的真空度，确保达到工艺要求。03

使用机械泵抽取气体，达到较低的真空度。粗真空阶段机械泵与扩散泵配合使用，进一步提高真空度。中真空阶段主要依赖扩散泵维持高真空度，确保工艺稳定。高真空阶段真空度分级控制

根据工艺需求，选择合适的惰性气体（如氩气、氦气等）。气体种类选择根据工艺要求，精确控制惰性气体的填充压力。填充压力控制确保惰性气体的纯度，避免引入杂质影响工艺质量。气体纯度要求惰性气体填充标准010203

03加热参数控制

升温曲线设定分段升温控制根据工件材质和工艺要求，选择合适的加热速率，避免过快导致热应力或过慢影响效率。预热处理加热速率选择根据工件材质和工艺要求，选择合适的加热速率，避免过快导致热应力或过慢影响效率。根据工件材质和工艺要求，选择合适的加热速率，避免过快导致热应力或过慢影响效率。

温度均匀性检测热电偶布置根据工件形状和加热方式，合理布置热电偶，以全面反映工件温度分布。01温度记录与分析实时记录温度数据，并进行分析处理，确保工件各部分温度均匀。02温差控制根据工艺要求，设定合理的温差范围，超出范围及时调整加热参数。03

保温时间计算根据工件材质、厚度和加热温度等因素，利用经验公式或实验数据计算保温时间。保温时间公式根据工件实际情况和温度均匀性检测结果，适当调整保温时间，确保工件充分加热。保温时间调整通过观察工件表面颜色、组织转变等特征，结合温度数据，判断保温是否结束。保温结束判断

04冷却工艺实施

气淬介质选择氮气具有高冷却速率和低温性能，适用于高速钢、工具钢和高合金钢。01具有极高的冷却速率和导热性能，适用于快速冷却高温合金和钛合金。02氢气具有高导热性和低密度，适用于冷却大截面金属和复杂形状零件。03氦气

冷却速率控制冷却速率过快可能导致工件变形、开裂和内部应力。冷却速率过慢冷却速率控制方法可能导致工件组织和性能不符合要求。通过调整介质温度、压力和流速来控制冷却速率。123

可能导致工件表面氧化、脱碳和过热。出炉温度阈值出炉温度过高可能导致工件内部残余应力过大，影响工件的性能和寿命。出炉温度过低根据工件的材料、形状和尺寸等因素，通过试验或经验确定。出炉温度阈值确定方法

05质量检测体系

硬度检测点位选取合适的样品，并进行必要的预处理，如切割、打磨等。样品制备检测位置硬度计选择检测方法在样品上选取具有代表性的位置进行检测，确保检测结果的准确性。根据材料特性和测试要求选择合适的硬度计，如洛氏硬度计、布氏硬度计等。按照相关标准进行硬度检测，并记录检测结果。

金相组织分析金相组织分析样品制备组织评定显微组织观察数据分析将样品进行镶嵌、磨光、抛光等处理，以便观察其金相组织。使用显微镜观察样品的金相组织，包括晶粒大小、形态、分布等特征。根据标准图谱或经验，对观察到的金相组织进行评定和分类。对金相组织数据进行统计分析，为工艺改进提供依据。

变形量测量标准测量设备选择适当的测量设备，如千分尺、测微仪等，确保测量精度。01测量方法按照相关标准或规定，对样品在特定条件下的变形量进行测量。02数据处理对测量数据进行处理和分析，得出变形量的准确结果。03结果评估根据测量结果评估样品的变形程度，为工艺流程的调整提供参考。04

06设备维护管理

确保泵油在正常范围内，避免泵油过期或过少导致泵运转不佳。定期检查真空泵油位定期清理真空泵进气滤芯，防止灰尘和杂质进入真空系统。清理真空泵滤芯定期加注润滑油，确保轴承运转灵