《传感技术与应用》第二版第10章光栅传感器.pptx

《传感技术与应用》（第二版）

第10章光栅传感器光栅传感器——利用光栅的莫尔条纹现象实现几何量测量的装置光栅传感器的优点高精度、高分辨率和大动态范围，因而广泛应用于静态测量、动态测量和自动化等领域。一、光栅基础知识

（一）、光栅分类及结构1、光栅分类按其原理和用途可分为物理光栅和计量光栅。按其透射形式可分为透射式光栅和反射式光栅。按光栅表面结构不同，可分为幅值光栅和相位光栅按光栅应用分类，可分为长光栅和圆光栅。目前发展了激光全息光栅和偏振光栅等新型光栅2、光栅的结构光栅——由大量等宽等间距的平行狭缝所组成的光学器件

（二）莫尔条纹原理与特点莫尔条纹具有三个特点：1、莫尔条纹具有位移放大作用2、莫尔条纹移动与光栅移动的对应关系3、误差减小作用莫尔条纹——亮带与暗带相间的条纹称为莫尔条纹。莫尔条纹是由主光栅和指示光栅的透光与遮光效应形成的。

莫尔条纹演示

二、光栅传感器的工作原理（一）光电转换原理光栅传感器的光电转换系统结构：1、光源，2、聚光镜，3、主光栅（又称标尺光栅），4、指示光栅，5光敏元件（二）莫尔条纹测量位移原理当光电元件5接收到明暗相间的正弦信号时，根据光电转换原理将光信号转换为电信号。当主光栅移动一个栅距W时，电信号则变化一个周期。当波形重复到原来的相位和幅值时，相当于光栅移动了一个栅距W，如果光栅相对位移了N个栅距，此时位移x=NW。

（三）辨向原理当莫尔条纹移动时，两个条纹的亮度变化规律完全一样，相位相差π/2。滞后还是超前完全取决于光栅的移动方向，这种区别运动方向的方法称为位置细分辨向原理。

细分方法：增加光栅刻度密度。对电信号进行电子细分。把一个周期变化的莫尔条纹信号再细分，即增大一周期的脉冲数，称为倍频法。在电子细分中又可分为直接细分、电桥细分、示波管细分和锁相细分等。机械和光学细分。三、莫尔条纹细分技术

（二）直接细分直接细分法的优点是对莫尔条纹信号波形无严格要求，电路简单，可用于静态、动态测量系统。缺点是光电元件安放困难，因而细分不能过高。

（三）电位器桥细分一种用于48细分的电位器电桥细分电路如图10—8所示。为了得到较高的细分数，将直接细分得到的四个相位差为π/2的正弦交流信号UmSinφ、UmCosφ、-UmSinφ、-UmCosφ（φ=2πX/ω）输入到电位器桥，电位器桥常用于进行12～60（为4的整倍数）细分。

单件光栅的误差是由刻划工艺和刻划设备决定的。计量光栅大多数是在构成莫尔要纹的情况下使用。由于莫尔条纹的平均误差作用，使局部刻划误差的影响大大减小。长光栅栅距误差一般为微米（μm）数量级，圆光栅为秒（”）角数量级。四、光栅传感器的误差

五、常用光学系统

（一）直接接收式光学系统1、透射直读式光路光源1发射的光经准直透镜2变成平行光束，垂直投射到主光栅3上，它和指示光栅4形成的莫尔条纹信号直接由光电元件5接收。图示为数控机床中的小型光栅式传感器

2、反射直读式光路光源6经聚光镜5成平行光束以一定的角度通过场镜3射向指示光栅2，莫尔条纹是由主光栅1反射回来的光线与指示光栅2作用形成的，经反射镜4反射后由物镜7成象被硅光电池8接收。

（二）分光式光学系统光源1发出的光经聚光镜2变成平行光投射到光栅副3、4上，经衍射后在无限远处形成莫尔条纹。用聚光镜6将与光轴平行的某r级组的衍射式光聚集于放在焦面处的光电元件8上，用光阑7挡住会聚于光轴两侧的其它级组的衍射光。光阑7有一条窄缝，其方向平行地横向莫尔条纹的方向，用以在光栅面上截取一条光缝，限制光电元件接收视场面的大小，使之在主光栅移过一个栅距时，会聚于光电元件8上的光强亮暗变化一次，从而能够接收互莫尔条纹信号实现测量。1、透射分光式光学系统

2、反射分光式光学系统光源1发出的光经准直透镜2变成平行光束垂直入射到分光棱镜3，经过半透分光面时被分成CD、CE两束光线射到闪耀光栅4的A、B两点。闪耀光栅具有等腰三角形线槽。使光栅在自准状态下工作，即光束垂直投射到线槽面时，由物理光学可知，最大强度的衍射光将沿原路反射回分光棱镜3。这样，由A、B两处返回的两路衍射光经分光棱镜3都投射到透镜5。这两路衍射光是相干的，相遇后发生干涉，产生的条纹图象经透镜5由光电元件6接收。

能输出稳定的信号，对来自机械、光学及电路等方面的干扰不敏感；能方便地输出多相（一般要求两相或四相）信号；工作寿命长，更换元器件简便，调整方便、容易；在满足精度要求的前提下，尽量使结构简单，制造容易若有光学倍频作用，可以减小电子细分的倍数，从而简化电路。设计光栅传感器的要求：照明系统、光栅副、光电接收元件和机械部