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2025年超精密加工技术在半导体制造中的高精度清洗与研磨报告
一、2025年超精密加工技术在半导体制造中的高精度清洗与研磨报告
1.超精密加工技术背景与现状
1.1超精密加工技术定义
1.2超精密加工技术在高精度清洗与研磨中的应用
1.2.1芯片表面清洗
1.2.2研磨工艺
1.2.3抛光工艺
1.3超精密加工技术在半导体制造中的应用现状
1.3.1国内外研究现状
1.3.2产业发展现状
1.4超精密加工技术的发展趋势
1.4.1智能化发展
1.4.2绿色环保
1.4.3高性能化
1.5我国超精密加工技术发展措施
1.5.1加大研发投入
1.5.2加强人才培养
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