等离子体沉积和刻蚀设备项目安全评估报告.docx
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等离子体沉积和刻蚀设备项目安全评估报告
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等离子体沉积和刻蚀设备项目安全评估报告
目录
TOC\o1-9前言 4
一、安全评价范围、目的及依据 4
(一)、评价范围 4
(二)、评价目的 6
(三)、评价依据 7
二、对策措施与建议 8
(一)、事故隐患的整改措施 8
(二)、建议的安全对策措施 9
三、事故原因分析及事故后果预测 10
(一)、事故案例及原因分析 10
(二)、事故后果预测 11
四、定性、定量安全评价 12
(一)、安全管理单元 12
(二)、厂址条件、平面布置及建、构筑物单元 14
(三)、生产单元 1
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