等离子体沉积和刻蚀设备项目风险分析和评估报告.docx
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等离子体沉积和刻蚀设备项目风险分析和评估报告
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等离子体沉积和刻蚀设备项目风险分析和评估报告
目录
TOC\o1-9前言 5
一、定性、定量安全评价 5
(一)、安全管理单元 5
(二)、厂址条件、平面布置及建、构筑物单元 7
(三)、生产单元 8
(四)、公用工程及辅助设施单元 11
二、安全评价范围、目的及依据 15
(一)、评价范围 15
(二)、评价目的 17
(三)、评价依据 18
三、环境评价 19
(一)、环境评价概述 19
(二)、评价等离子体沉积和刻蚀设备项目概况 19
(三)、环评单位的基本情况 21
(四
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