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omron D6F-A5-A6 MEMS流量传感器手册.pdf

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D-12

D6F-A5/-A6MEMS

D6F-10A5-000D6F-20A5-000D6F-50A5-000D6F-10A6-000D6F-20A6-000D6F-50A6-000

1010L/min020L/min050L/min010L/min020L/min050L/min

Rc1/4

DC10.826.4V

VccDC1224V2515mA

DC15V

3F.S.25

30.3F.S.

DC5.7V10kΩ

DC0V10kΩ

DC26.4V

DC10V

PPS/

IECIP40

200kPa

30.8kPa2.9kPa17.2kPa0.25kPa0.81kPa4.29kPa

-10+60

3585RH

-40+80

3585RH

-10+60255F.S.

20MΩDC500V

AC500V50/60Hz11mA

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