基于双螺旋式加热器的柔性MEMS流量传感器.pdf
年第卷第期传感器与微系统()
2024432TransducerandMicrosystemTechnologies41
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DOI10.13873/J.10009787202402004104
基于双螺旋式加热器的柔性MEMS流量传感器
王琪,冯建国,马渊明,陈兴,许高斌
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合肥工业大学安徽省微电子机械系统工程技术研究中心微电子学院,安徽合肥230009
摘要:针对传统流量传感器的量程限制,提出了一种基于双螺旋结构加热器的柔性基底微机电系
统()热式流量传感器。在基底上打出均匀通孔阵列以降低热传导损耗,两对测温电阻对称分布在
MEMS
加热器两侧,以获得较宽量程,在微小流量与大流量下均表现出较高灵敏度。采用基于惠斯通电桥的检测
电路实现输出电压的测量,同时保持加热器与环境温度恒定温差200K,对电阻自热进行补偿。传感器工
-100~400℃0~60m/s12.75V/ms-10.001mm/
作温度,量程为;低流速下灵敏度约为(·),分辨率可达
-1
,高流速下灵敏度约为(·),功耗低至。
s1.4mV/ms1.3mW
关键词:微机电系统;热流量;双螺旋结构;热温差式;柔性
中图分类号:文献标识码:文章编号:—()——
TP212A10009787202402004104
FlexibleMEMSflowsensorbasedondoublehelixheater
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WANGQiFENGJianguoMAYuanmingCHENXingXUGaobin
(MicroelectromechanicalSystemResearchCenterofEngineeringandTechnologyofAnhuiProvince,
SchoolofMicroelectronics,HefeiUniversityofTechnology,Hefei230009,China)
:,
AbstractToovercometherangelimitationoftraditionalflowsensorsaflexiblesubstrateMEMSthermalflow
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